Sərt və kövrək materiallar üçün dəqiq lazer kəsici maşın əsasən keramika, sapfir, almaz, kalsium polad, volfram polad, alüminium nitrid, silikon nitrid, qallium arsenid və digər materiallar kimi yüksək sərtlik və yüksək kövrək materialların lazer mikro emalında istifadə olunur.